2016年7月11日,鲁汶仪器获得天使轮融资,金额未透露,投资方为博灏创投。
2018年10月12日,鲁汶仪器获得A轮融资,金额未透露,投资方为浑璞投资。
2019年9月2日,鲁汶仪器获得A+轮融资,金额未透露,投资方为金浦投资。
2020年4月21日,鲁汶仪器获得亿元及以上人民币的B轮融资,投资方为中科创星、红星美凯龙、中域资本、中冀投资、东汉唐周、祥晖资本、中杰投资。
江苏鲁汶仪器有限公司由比利时鲁汶仪器、中科院微电子研究所等共同注资成立。公司总部位于江苏省徐州市,在比利时、北京设有研发中心,在上海、武汉、西安、成都、台湾、新加坡、韩国等地设有分支机构。
公司秉承“求实、创新、责任、信赖、分享”的经营理念,倡导精益求精的工匠精神,致力于成为半导体关键装备和解决方案的首选供应商。
鲁汶仪器主要产品有12英寸和8英寸磁存储器刻蚀机;8英寸量产型金属刻蚀机;反应离子刻蚀机、感应耦合等离子体刻蚀机、离子束刻蚀机、微波等离子体去胶设备、感应耦合等离子体化学气相沉积设备、等离子体增强型化学气相沉积设备、气相分解金属沾污收集机台、薄膜材料纳米孔径分析仪等,公司拥有自主专利技术,核心产品技术国际领先。
公司拥有苏北地区首家“诺贝尔奖得主工作室”。公司坚持以人为本,技术团队由诺贝尔奖获得者、三名国家级专家、多名国内外半导体领域知名教授、资深工程师、及高校科研院所的年轻技术骨干组成,核心成员入选了江苏省“双创团队”,江苏省“双创人才”,及江苏省“六大高峰人才团队”。国际一流的人才团队为公司保持技术领先、实现创新驱动打下了坚实的基础。