2023年9月4日，励兆科技获得数千万人民币的Pre-A轮融资，投资方为中芯聚源、Monolith Management砺思资本、临港科创。
上海励兆科技有限公司成立于2022年8月，励兆科技是一家专注于半导体工艺设备领域的射频和等离子系统供应商，专注于等离子体工艺设备核心部件的研发、制造和销售，所生产的主要产品有括射频电源、自动阻抗匹配器、远程等离子体源，以及定制化模块，包括高压模块、直流偏压探测器、滤波器等，并提供系统的技术解决方案。
励兆科技团队在射频、电力电子、控制和算法技术上都具有较深积累和完备的布局。高频电力电子是射频技术的一种，其人才在全球都非常稀缺，半导体射频电源要求兆赫兹级别的电力电子技术。励兆科技核心成员从2012年便开始深耕这个领域的研究，是国际上为数不多的华人专家之一。
同时，产品的算法需要和半导体工艺相结合，需要熟悉等离子体加工工艺，且要有扎实的数理背景，励兆科技能很好地结合客户的实际工艺需求来研究和优化算法。
励兆科技的主要产品是等离子射频电源及其配套系统和远程等离子源(RPS)系统，而这些产品的基本作用就是在相关半导体工艺设备中产生等离子体并达成相关各种工艺。
在每道工序中，等离子体的产生及工作原理都不尽相同。比如大部分先进刻蚀系统，需要射频电源具备脉冲调制功能，以便用于刻蚀的等离子体有发生和中和的过程，可以稳定地朝着工艺指定的方向刻蚀；又比如在部分原子层沉积工艺中，为了配合工艺前体气体脉冲快速释放的节奏，射频电源需要配备复杂的调频功能来快速稳定降低射频反射系数。
针对这些技术要求，励兆科技成立一年便开发出了13.56MHz系列和400KHz系列射频电源产品，部分关键性能参数已达到国际先进水平，比如功率可调精度在0.1瓦，脉冲频率从2Hz到50KHz，占空比1%-99%，配合独有MOFT调频功能 (模型导向的自动调频技术)，能实现亚毫秒量级的高速阻抗匹配，可以有效地满足多种工艺的需求，在国内率先为先进蚀刻和原子层沉积等工艺提供了可选方案。
同时在远程等离子源(RPS)领域，励兆科技正在开发一款可用于12寸晶圆去胶/氧化/清洁等工艺领域的产品，预计在2023年年底可为关键客户送样测试。
