2022年5月26日,生波智能获得1亿人民币的A轮融资,投资方为国芯创投、派诺资本。
生波智能是一家高端智能化半导体真空装备制造商,以真空镀膜工艺技术开发、真空镀膜设备研发制造技术为核心,在等离子体源、PECVD源、PVD源等多种核心源部件拥有自主研发、制造能力。
生波智能通过中高端设备的研发及专项设备的定制,为客户提供新工艺开发、新装备研制、大规模量产型生产线制造与交付以及长期技术支持、维保等全方面、一体化地解决方案。生波智能产品体系丰富,产品广泛应用于半导体、平板显示、航天科技、深空探测、新材料封装等领域。
生波智能拥有卷绕控制系统、模块化设计、倾斜式箱体设计、PEM气体控制系统、新型中频圆柱旋转阴极、线形离子源、磁悬浮导向、二进制多段布气、集成式生产线水冷系统等20余项先进工艺和核心技术,并将各种创新技术应用于生产线实践,并在实践中发掘新的创新点,共同推进工艺和设备的不断更新和进步。
生波智能目前共有20件专利申请,其中10件为发明专利,公司专利布局主要聚焦于真空镀膜、驱动机构等相关领域。