2022年3月17日，御微半导体获得A轮融资，金额未透露，投资方为易科汇资本、浦东科创、善耘投资。

　　2022年4月7日，御微半导体获得战略投资，金额未透露，投资方为合肥高投、合肥创投、中科创星、上海科创投集团(上海科创)、红杉资本中国。

　　御微半导体是一家以市场和技术双轮驱动，为集成电路制造提供先进装备的科创企业。公司面向集成电路制造、先进封装、化合物半导体、新型显示等领域，为客户提供具有竞争力的产品及技术解决方案。

　　御微半导体聚焦于集成电路光学量检测系统设计与系统集成，围绕集成电路装备自主化，已经形成了掩模版检测、晶圆检测、泛半导体检测、晶圆测量等4大领域6大类量检测产品。致力成为全球第一梯队的集成电路装备技术提供者。

　　专业始于御微的市场洞察，关注每一个客户需求，规划完善的产品线，御微半导体致力于不断打造高性能量检测产品，赋能集成电路前道产线工艺控制，助力我国集成电路产业快速发展。 公司推出的全国首台集成电路掩模缺陷检测产品，其关键性能已经达到国际领先水平，获得了全球半导体协会SEMI S2认证，通过全球顶尖集成电路制造商认可，并获得重复订单。集成电路前道晶圆缺陷检测产品，成功通过知名集成电路制造商认证，并全面推广，被客户评价为：产品解决了“卡脖子”问题，是半导体设备国产替代的重要里程碑。 公司将始终以技术和产品，为客户提供更专业和具有竞争力的解决方案，为我国集成电路产业创造价值，通过帮助客户成功而不断成长。

　　御微半导体核心团队均来自国内半导体行业顶尖院所及企业，掌握整套尖端光学设备设计、集成及成像等核心技术，团队曾历时十余载，亲历推动国内中顶级难度的复杂大型装备研发，填补国内空白。项目团队怀揣为解决国产半导体设备“卡脖子”问题而奋斗的情怀，采用光刻机技术标准，应用于半导体量检测，致力提高国产半导体量检测设备的国际竞争力。目前公司已组建研发、测试、生产、营销、售后等完整体系的人才团队，其中研发人员占比50%以上，专业、高效的研发团队将为公司快速发展和产品技术提升提供不竭源动力。