2020年11月11日，东方晶源获得战略投资，金额未透露，投资方为亦庄国投。
东方晶源微电子科技（北京）有限公司是由中国东方集团与国际化技术和管理团队创立的先进半导体关联高科技公司。总部设于北京经济技术开发区亦庄。公司致力于提供极大规模半导体产品设计和制造中制程问题的解决方案与相关设备。
东方晶源的服务对象是世界尖端的极大规模半导体设计、制造和装备企业。公司在海外拥有合作和伙伴企业，协同合作开发新的解决方案和设备。
东方晶源的主要业务方向之一为应用于晶圆制造在线检测的高速、高精度电子束图像系统。通过高速而精准的电子束控制及检测，结合本公司独有的自动化在线专家系统，将大大助益于半导体制造业的自动化与制程优化，显著提高整体生产效率。
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